本規范共分15章和4個附錄。主要內容有:總則、術語、電子產品生產環境設計要求、總體設計、工藝設計、潔凈建筑設計、空氣凈化和空調通風設計、給水排水設計、純水供應、氣體供應、化學品供應、電氣設計、防靜電與接地設計、噪聲控制、微振控制等。

GB50472-2008······1

1 總則······10

2 術語······11

3 電子產品生產環境設計要求······15

3.1 一般規定······15

3.2 生產環境設計要求······15

4 總體設計······17

4.1 位置選擇和總平面布置······17

4.2 潔凈室型式······18

4.3 潔凈室布置和綜合協調······18

5 工藝設計······20

5.1 一般規定······20

5.2 工藝布局······20

5.3 人員凈化······21

5.4 物料凈化······22

5.5 設備及工器具······22

6 潔凈建筑設計······24

6.1 一般規定······24

6.2 防火和疏散······25

6.3 室內裝修······26

7 空氣凈化和空調通風設計······28

7.1 一般規定······28

7.2 氣流流型和送風量······29

7.3 凈化空調系統······30

7.4 空氣凈化設備······30

7.5 采暖、通風······32

7.6 排煙······34

7.7 風管、附件······34

8 給水排水設計······36

8.1 一般規定······36

8.2 給水······36

8.3 排水······37

8.4 雨水······37

8.5 消防給水和滅火設備······37

9 純水供應······39

9.1 一般規定······39

9.2 純水系統······39

9.3 管材、閥門和附件······40

10 氣體供應······41

10.1 一般規定······41

10.2 常用氣體系統······42

10.3 干燥壓縮空氣系統······44

10.4 特種氣體系統······44

11 化學品供應······46

11.1 一般規定······46

11.2 化學品儲存、輸送······46

11.3 管材、閥門······48

12 電氣設計······49

12.1 配電······49

12.2 照明······50

12.3 通信與安全保護裝置······51

12.4 自動控制······53

12.5 接地······53

13 防靜電與接地設計······55

13.1 一般規定······55

13.2 防靜電措施······55

13.3 防靜電接地······57

14 噪聲控制······58

14.1 一般規定······58

14.2 噪聲控制設計······58

15 微振控制······60

15.1 一般規定······60

15.2 容許振動值······60

15.3 微振動控制設計······60

附錄A 各類電子產品生產對空氣潔凈度等級的要求······62

附錄B 電子產品生產間/工序的火災危險性分類舉例······64

附錄C 精密儀器、設備的容許振動值舉例······65

附錄D 潔凈室（區）性能測試和認證······66

本規范用詞說明······74

附:條文說明······75

1 總則······79

3 電子產品生產環境設計要求······80

3.1 一般規定······80

3.2 生產環境設計要求······82

4 總體設計······93

4.1 位置選擇和總平面布置······93

4.2 潔凈室型式······95

4.3 潔凈室布置和綜合協調······98

5 工藝設計······100

5.1 一般規定······100

5.2 工藝布局······100

5.3 人員凈化······102

5.4 物料凈化······104

5.5 設備及工器具······105

6 潔凈建筑設計······108

6.1 一般規定······108

6.2 防火和疏散······109

6.3 室內裝修······115

7 空氣凈化和空調通風設計······117

7.1 一般規定······117

7.2 氣流流型和送風量······118

7.3 凈化空調系統······121

7.4 空氣凈化設備······124

7.5 采暖、通風······126

7.6 排煙······128

7.7 風管、附件······129

8 給水排水設計······131

8.1 一般規定······131

8.2 給水······132

8.3 排水······133

8.4 雨水······134

8.5 消防給水和滅火設備······134

9 純水供應······136

9.1 一般規定······136

9.2 純水系統······137

9.3 管材、閥門和附件······138

10 氣體供應······140

10.1 一般規定······140

10.2 常用氣體系統······143

10.3 干燥壓縮空氣系統······145

10.4 特種氣體系統······146

11 化學品供應······149

11.1 一般規定······149

11.2 化學品儲存、輸送······150

11.3 管材、閥門······152

12 電氣設計······154

12.1 配電······154

12.2 照明······155

12.3 通信與安全保護裝置······156

12.4 自動控制······159

12.5 接地······160

13 防靜電與接地設計······162

13.1 一般規定······162

13.2 防靜電措施······162

13.3 防靜電接地······164

14 噪聲控制······166

14.1 一般規定······166

14.2 噪聲控制設計······166

15 微振控制······168

15.1 一般規定······168

15.2 容許振動值······168

15.3 微振動控制設計······169