本規范共分12章和3個附錄,主要內容包括:總則,術語,基本規定,廠址選擇及廠區規劃,工藝設計,電氣及自動化,輔助設施,建筑結構,給水、排水和消防,采暖、通風與空氣調節,環境保護、安全和衛生,節能、余熱回收等。

GB51034-2014······1

1 總 則······13

2 術 語······15

3 基本規定······16

4 廠址選擇及廠區規劃······17

4.1 廠址選擇······17

4.2 廠區規劃······18

5 工藝設計······21

5.1 一般規定······21

5.2 三氯氫硅合成和四氯化硅氫化······22

5.3 氯硅烷提純······23

5.4 三氯氫硅氫還原······24

5.5 還原尾氣干法回收······24

5.6 硅芯制備及多晶硅產品后處理······25

5.7 分析檢測······26

6 電氣及自動化······27

6.1 電氣······27

6.2 自動化······29

7 輔助設施······36

7.1 壓縮空氣站······36

7.2 制氮站······36

7.3 制氫站······37

7.4 導熱油······37

7.5 純水制備······37

7.6 制冷······40

7.7 蒸汽······40

8 建筑結構······42

8.1 一般規定······42

8.2 主要生產廠房和輔助用房······44

8.3 防火、防爆······46

8.4 潔凈設計及裝修······48

8.5 防腐蝕······49

8.6 結構設計······50

9 給水、排水和消防······55

9.1 給水······55

9.2 排水······55

9.3 廢水處理······56

9.4 循環冷卻水系統······56

9.5 消防······57

10 采暖、通風與空氣調節······58

10.1 一般規定······58

10.2 通風······58

10.3 空氣調節與凈化······60

10.4 防排煙······61

10.5 空調冷熱源······62

11 環境保護、安全和衛生······64

11.1 環境保護······64

11.2 安全······64

11.3 衛生······65

12 節能、余熱回收······66

12.1 一般規定······66

12.2 生產工藝······66

附錄A 地下管線與建(構)筑物之間的最小水平凈距······68

附錄B 地下管線之間的最小水平凈距······69

附錄C 主要房間空氣潔凈度、溫度、濕度······70

本規范用詞說明······72

引用標準名錄······73

附：條文說明······77

1 總 則······80

2 術 語······81

3 基本規定······82

4 廠址選擇及廠區規劃······83

4.1 廠址選擇······83

4.2 廠區規劃······84

5 工藝設計······86

5.1 一般規定······86

5.2 三氯氫硅合成和四氯化硅氫化······87

5.3 氯硅烷提純······88

5.4 三氯氫硅氫還原······88

5.5 還原尾氣干法回收······89

5.6 硅芯制備及多晶硅產品后處理······89

5.7 分析檢測······89

6 電氣及自動化······90

6.1 電氣······90

6.2 自動化······91

7 輔助設施······93

7.1 壓縮空氣站······93

7.2 制氮站······93

7.3 制氫站······93

7.4 導熱油······94

7.5 純水制備······94

7.6 制冷······94

7.7 蒸汽······94

8 建筑結構······96

8.1 一般規定······96

8.2 主要生產廠房和輔助用房······98

8.3 防火、防爆······100

8.4 潔凈設計及裝修······102

8.5 防腐蝕······103

8.6 結構設計······104

9 給水、排水和消防······106

9.1 給水······106

9.2 排水······106

9.3 廢水處理······107

9.4 循環冷卻水系統······107

9.5 消防······108

10 采暖、通風與空氣調節······109

10.1 一般規定······109

10.2 通風······109

10.3 空氣調節與凈化······112

10.4 防排煙······114

10.5 空調冷熱源······115

11 環境保護、安全和衛生······117

11.1 環境保護······117

11.2 安全······117

11.3 衛生······117

12 節能、余熱回收······119

12.1 一般規定······119

12.2 生產工藝······119